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分離裝置有兩個(gè)主吸附器，里面充滿Ca-A型沸石，這樣，一個(gè)吸附氣體時(shí)，另一個(gè)可以釋放氣體，使系統(tǒng)可以連續(xù)工作，提高工作效率。輔助吸附器里面充滿了Na-X型沸石。

分離的步驟如下:

  (1) 將過濾后的混合氣體充人一個(gè)主吸附器中。這時(shí)，N₂幾乎全部被吸附，而大部分SF₆氣體可以穿過它到達(dá)液化系統(tǒng)。

液化系統(tǒng)由壓縮機(jī)和冷卻管組成。

(2) 在液化系統(tǒng)中，SF₆氣體被壓縮、冷卻和液化。將液態(tài)SF₆儲(chǔ)存到液化罐中，液化系統(tǒng)中剩余的氣體是SF₆/N₂混合氣體，再通過緩沖罐再次充人主吸附器。

  (3) 主吸附器內(nèi)吸附的N₂和少量SF₆氣體被充人輔助吸附器。SF₆氣體被吸附，N₂就可以直接排放到大氣中。實(shí)驗(yàn)測得最后直接排放到大氣中的氣體中SF₆氣體的體積濃度僅為0.06μL/L，變壓吸附法分離裝置每分鐘能處理氣體13L，可以滿足實(shí)際應(yīng)用的要求。